Konu "rpcvd" için Kimya Mühendisliği Bölümü Tez Koleksiyonu listeleme
Toplam kayıt 1, listelenen: 1-1
-
Düşük Sıcaklıkta Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) Yöntemiyle Epitaksiyel SiGe Film Büyütme Ve Film Karakterizasyonu
(Fen Bilimleri Enstitüsü, 2018)In the scope of thesis, selective epitaxial growth of monocrystal silicon-germanium-carbon (SiGeC) and monocrystal silicon (SiCap) were deposited on silicon substrate at low temperature by using reduced pressure chemical ...