Browsing Kimya Mühendisliği Bölümü Tez Koleksiyonu by Subject "rpcvd"
Now showing items 1-1 of 1
-
Düşük Sıcaklıkta Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) Yöntemiyle Epitaksiyel SiGe Film Büyütme Ve Film Karakterizasyonu
(Fen Bilimleri Enstitüsü, 2018)In the scope of thesis, selective epitaxial growth of monocrystal silicon-germanium-carbon (SiGeC) and monocrystal silicon (SiCap) were deposited on silicon substrate at low temperature by using reduced pressure chemical ...