Konu "Odor sensors" için Nanoteknoloji ve Nanotıp Bölümü listeleme
Toplam kayıt 1, listelenen: 1-1
-
Metal Oksit İnce Filmlerin Gaz Sensörü Uygulamalarının Araştırılması
(Fen Bilimleri Enstitüsü, 2014)This work covers such fabrication techniques; chemical (CVD) and physical vapor deposition (PVD), photolithography, plasma dry etching (ICP-RIE), anisotropic bulk silicon wet etching to develop michromachined metal oxide ...